真空泵油污染是较为少见的真空泵故障，真空泵油污染不仅仅是污染真空泵那么简单，它还会影响真空泵的工作效率，甚至对真空泵配件再次发生风险。真空泵油污染有以下几个原因：
1.新旋片真空泵或真空泵修理后，用水、燃料或清洗剂冲刷内部。
2.旋片式真空泵工作环境周转有大量水、灰尘或化学物质，也会污染真空泵油。
3.报废的真空泵内部的防水物未盛德整洁就介入真空泵油运转，也使真空泵油受污染。
4.换真空泵油时旧油放不整洁，旧加新真空泵油，仅存的旧油污染新油，旧油重的水解产物加快了新油的水解。
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真空泵漏油原因：油粘碉，里面有杂质，堵塞了油路，真空泵油无法起到---的润滑作用，造成泵体温度过高，会加速叶片的碳化，平时应注意真空泵油的情况。及时更换泵油，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。轴承损坏，检查一下轴套和轴珠的间隙和磨损情况，及时更换轴承，以免造成转子轴位的磨损，轴位磨损还需要修复。转子与端盖的磨损，真空泵维修，如果已经看到了转子与端盖已经磨损了，如果是损坏---确定已修复不了，需要更换转子或者端盖了。
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真空设备对油污染的要求:若设备严格要求无油时，应选无油旋片真空泵。如果要求不严格，可以选择油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油板等，也能达到清洁真空要求。了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
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